VERTICAL CVD FURNACE (c)

VERTICAL CVD FURNACE  (c)       Application   Furnace is used for composite material CVD by hydrocarbon gases(likeC3H8).It works on CVD and CVI treatment for Carbon materials.       Main specifications  

Spec.\Model	VCVD-0305-C	VCVD-0508-C	VCVD-0812-C	VCVD-1015-C	VCVD-1218-CV	VCVD-1520-C
Working Zone Size  D*H(mm)	300*500	500*800	800*1200	1000*1500	1200*1800	1500*2000
Load capacity (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Temperature(℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperature Uniformity(℃)	±5	±5	±7.5	±7.5	±10	±10
Heating Power(KW)	45	90	180	300	420	540
Ultimate Vacuum(Pa)	20	20	20	20	20	20
Pressure Increase Rate (Pa/h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67

  The above spec.Can be adjusted according to the process requires,they are not acceptance standard,the detail spec,will be stated in the technical proposal and agreement.           Configuration Options   l Furnace door:screw elevation type/hydraulic elevation type/manual elevation;manual tight/auto lock-ring tight   l Furnace vessel:all carbon steel/inner layer stainless steel/all stainless steel   l Furnace hot zone:soft carbon felt/soft graphite/press high purity,high strength and high density graphite/fine size graphite   l Process gas system:volume/mass flow-meter;manual valve/auto valve;foreign brand/Chinese brand   l Vacuum pump and gauge:foreign brand/Chinese brand   l HMI:simulation screen/touch screen/industrial computer   l PLS:OMRON/Siemens   l Temperature controller:SHIMADEN/Euro-therm   l Thermo-couple:C type/S type/R type/B type   l Recorder :paperless recorder/paper recorder;foreign brand/Chinese brand   l Electrical component:CHINT/Schneider/Siemens       Technical features   l Using different temperature control zones according to the working zone size,great temperature uniformity;   l Special designed deposition chamber with good sealing effect and great contamination protection performance;   l Using multiple deposition channels with uniformity gas flow,without deposition  dead corner and  great deposition surface;   l It has treatment for the tar,solid dust and organic gases during the deposition process.